单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究

中国机械工程 ›› 2012, Vol. 23 ›› Issue (2): 208-211.

单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究

刘志东;鲁;清;邱明波;田宗军;黄因慧

南京航空航天大学,南京,210016

出版日期:2012-01-25 发布日期:2012-02-14
基金资助:
国家自然科学基金资助项目(50975142)；江苏省科技支撑计划资助项目(BE2009161)，江苏省博士后基金资助项目(1002009C)
National Natural Science Foundation of China（No. 50975142）;
Jiangsu Provincial Key Technology R&D Program（No. BE2009161）

Study on Electrode Covering Effect on Monocrystalline Silicon in Electrical Discharge

Milling

Liu Zhidong;Lu Qing;Qiu Mingbo;Tian Zongjun;Huang Yinhui

Nanjing University of Aeronautics and Astronautics,Nanjing,210016

Online:2012-01-25 Published:2012-02-14
Supported by:

National Natural Science Foundation of China（No. 50975142）;
Jiangsu Provincial Key Technology R&D Program（No. BE2009161）

摘要/Abstract

摘要：

对单晶硅电火花铣削过程中电极表面出现的覆盖层进行了分析,分析结果表明,该覆盖层的主要成分是SiO₂。实验证明,SiO₂是加工过程中电化学反应的产物。研究了电参数对SiO₂覆盖层厚度的影响规律。研究结果表明,可以通过控制SiO₂覆盖层的厚度来保护电极和补偿电极损耗,实现低损耗甚至无损耗的单晶硅电火花铣削加工。



关键词:

单晶硅, 电火花铣削, 电极损耗, 覆盖效应

Abstract:

Electrode covering effect on monocrystalline silicon in electrical

discharge milling was analyzed and the covering material was SiO₂.

The SiO₂ cover was proved to be generated from some electrochemical reactions during the process.The effects of electrical parameters on the covering thickness were researched, and electrical discharge milling of low or even no electrode wear can be realized by controlling the covering thickness to compensate for electrode wear.

Key words: monocrystalline silicon, electrical discharge milling, electrode wear, covering effect

中图分类号:

TG662

刘志东, 鲁, 清, 邱明波, 田宗军, 黄因慧.

单晶硅电火花铣削电极表面覆盖效应研究

[J]. 中国机械工程, 2012, 23(2): 208-211.

LIU Zhi-Dong, LU,QING,QIU Meng-Bei, TIAN Zong-Jun, HUANG Yin-Hui.

Study on Electrode Covering Effect on Monocrystalline Silicon in Electrical Discharge

Milling

[J]. China Mechanical Engineering, 2012, 23(2): 208-211.

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[1]	王国彪, 赖一楠, 范大鹏, 杨华勇, 王时龙. 新型精密传动机构设计与制造综述 [J]. J4, 201016, 21(16): 1891-1897.
[2]	王立存, 陈进, 张贤明, 陈国强. 基于泛函的制冷涡旋压缩机变壁厚涡旋型线理论及形状优化 [J]. J4, 201016, 21(16): 1898-1901.
[3]	李小力, 陈威, 闫蓉. 基于BP神经网络的空间轮廓误差自适应补偿 [J]. J4, 201016, 21(16): 1902-1906.
[4]	夏瑞雪, 卢荣胜, 刘宁, 董敬涛. 基于圆点阵列靶标的特征点坐标自动提取方法 [J]. J4, 201016, 21(16): 1906-1910.
[5]	陈立锋, 吴晓铃, 秦大同, 肖正明. 齿轮啮合过程摩擦功耗研究 [J]. J4, 201016, 21(16): 1911-1915.
[6]	李明磊, 贾育秦, 张学良, 刘丽琴, 杜娟, 温淑花, 兰国生. 基于多目标差异演化算法的并联机构结构优化 [J]. J4, 201016, 21(16): 1915-1920.
[7]	吴怀超, 吴白羽, 张秀华. 石蜡感温阀传热性能的数字仿真研究 [J]. J4, 201016, 21(16): 1921-1926.
[8]	鲁开讲, 师俊平, 张锋涛. 平面三自由度并联机构动力学优化设计 [J]. J4, 201016, 21(16): 1926-1931.
[9]	张敏杰, 王庆九, 管成. 并联式油液混合动力挖掘机动力系统仿真研究 [J]. J4, 201016, 21(16): 1932-1936.
[10]	刘安平, 刘济春. IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描三维驱动系统研究 [J]. J4, 201016, 21(16): 1936-1940.
[11]	姚运萍, 王智渊. 螺栓连接受载能量损失与结合面参数识别 [J]. J4, 201016, 21(16): 1941-1943,1951.
[12]	陈建, 邓利娟. 恒力弹性机构的设计 [J]. J4, 201016, 21(16): 1944-1946.
[13]	罗洁思, 于德介, 史美丽. 基于SVD和线调频小波路径追踪的转速波动齿轮箱故障诊断 [J]. J4, 201016, 21(16): 1947-1951.
[14]	战晓磊, 辛洪兵, 汉斯·彼德　兰特斯. 基于虚拟现实的MOTOMAN-HP3型机器人运动学仿真 [J]. J4, 201016, 21(16): 1952-1954,1998.
[15]	苏厚军, 史铁林, 陈非. 高炉煤气透平机状态检修的设计与实施 [J]. J4, 201016, 21(16): 1955-1958.