以无气腔平面节流器为研究对象，对节流器流固耦合法向随机微振动进行了理论仿真和实验研究。受限于节流器厚度与气膜厚度尺寸的差异和输入初始边界条件，建立了节流器的COMSOL仿真简化模型，对节流器气膜微流场进行双向流固耦合数值模拟。仿真结果表明，节流器的法向随机微振动幅值关于节流器中心对称，且由中心向边缘逐渐增大；微振动幅值随气体入口流速的增大而增大。实验采用纳米级激光测振仪，依次测量供气压力为0.1，0.2,…，0.5 MPa时尺寸为75 mm×50 mm×14 mm的HEXAGON双环联结型节流器多个不同位置的法向振动，实验结果表明，法向随机微振动幅值分布特性与仿真结果一致，关于节流器中心对称，且由中心向边缘逐渐增大，验证了节流器法向微振动的“跷跷板”振动形式；在0.5 MPa供气压力下，边缘振动幅值超过1 nm。对实验数据进行功率谱密度分析，结果表明不同供气压力下法向随机微振动均在9.4 kHz和10.6 kHz处产生较大功率，可认为与节流器气膜流固耦合系统的固有频率有关。研究结果有效地揭示了节流器法向随机微振动的特性,为气体静压系统避开随机共振区、优化气体静压系统的设计提供了理论指导。
