摘要:
综合考虑了工件表面原子的微观状态,利用纳米颗粒特殊的高比表面能和高吸附特性,提出了一种可实现工件表面原子级去除的纳米胶体射流抛光方法。利用碱性胶体中纳米颗粒与工件的表面反应,设计了可实现超精密表面加工的纳米胶体射流抛光系统,并利用该系统对K9玻璃进行抛光。试验结果表明,纳米胶体射流抛光可实现超精密光学表面的抛光,抛光后表面粗糙度Ra小于1nm。
中图分类号:
宋孝宗;张勇;张飞虎;栾殿荣. 超精密纳米胶体射流抛光试验研究[J]. J4, 2008, 19(21): 0-2524.
Song Xiaozong;Zhang Yong;Zhang Feihu;Luan Dianrong. Experimental Study on Ultra-Precision Polishing by Nanoparticle Colloid Jet Machining[J]. J4, 2008, 19(21): 0-2524.